Gezinimi atla

RLD10 diferansiyel interferometre

Diferansiyel interferometreler tanımlanan bir referansa göre ölçüm yapılmasına izin verirler.

Diferansiyel kafa, düşük SDE performansı elde etmek amacıyla, benzersiz bir optik şema ile tasarlanmıştır. Entegre ışın yönlendiriciler kurulum sırasında aralık ve yatay sapma ayarlamaları yapılmasına imkan verir. Bu durum da hizalama prosesini geliştirir (sadece düzlem aynası uygulamaları için uygundur).

RLD10-X3-DI dedektör kafası, bir proses haznesinin dış duvarına basit üç-pim ile monte edilecek şekilde tasarlanmıştır. Dedektör kafasını hizalamak için hazneye girmeye gerek yoktur - entegre ışın yönlendiricileri bağımsız periyot aralıklarının ve referans ve ölçüm ışınının yatay sapma ayarlamasına imkan verir - ve montaj sisteminin tasarımı, dedektör kafasının yerinden çıkarılmasına ve sistem hizalaması üzerinde en az etki ile yeniden konumlandırılmasına olanak tanır.

Özellikler ve faydalar

  • Olağanüstü metroloji -38,6 pm'e varan çıktı çözünürlük değerlerine imkan veren, ppb frekans kararlılığı ve ultra düşük çevrimsel hata.
  • Diferansiyel konfigürasyonlar - tablanın kolonlara göre göreli pozisyonunu ölçer, bu nedenle ve haznenin yan duvarlarının, çevresel dalgalanmalar ile bağlantılı hareketi gibi, ortak hareket hatalarını ortadan kaldırır.
  • Hızlı hizalama - hazne ve ayna montaj toleranslarını aşmak için, dört tane entegre ışın yönlendirici kullanarak, vakum haznesinin dışından kolay hizalama.

Teknik özellikler

Eksen hareketi0 m - 1 m
Çözünürlük (çözünürlük RLU ile konfigüre edilmiştir)Analog dört yönlü = λ/4 (158 nm)
Dijital dört yönlü = 10 nm
RPI20 çözünürlüğü = 38,6 pm

Sistem doğrusal olmama hatası* (SDE)

*arayüzü hariç tutar

<±1 nm, 50 mm/saniye hızın altında, sinyal gücü >%70
<±6 nm, 1 m/saniye hızda, sinyal gücü >%50
Maksimum hız1 m/s’ye varan değerler
Diferansiyel interferometre dedektör kafası genellikle Renishaw RLU20 ile birlikte konfigüre edilmektedir. RLU20 lazer kaynağının yüksek kararlılığının, diferansiyel interferometre kafasının performansı ile birleştirilmesi, vakumlu hazneler ve diğer sıkı kontrol edilen ortamlar içerisinde ölçüm yapmak için, ideal tercihi oluşturur.

Ürün bilgisi