Diferansiyel interferometre

RLD10-X3-DI diferansiyel interferometre detektör kafası, bir sabit referans aynası, ve bir hareket eden ölçüm aynası arasındaki izafi yer değiştirmenin ölçülmesine imkan vermektedir. Özellikle vakum ve kontrol edilmiş ortam uygulamaları için uygun olan, RLD10-X3-DI detektör kafası bir proses haznesinin dış duvarına basit üç-iğne ile monte edilecek şekilde tasarlanmıştır. Hazneye dedektör kafasını hizalamak için girmeye gerek yoktur. Entegre ışın düzeltici bağımsız periyot aralıklarının ve referans ve ölçüm ışınının yatay sapma ayarlamasına imkan verir  ve montaj sisteminin tasarımı detektör kafasının yerinden çıkarılmasına ve sistem hizalaması üzerinde en az etki ile yeniden konumlandırılmasına olanak tanır.

Özellikler

Rakamlar RDL10-X3-DI kafası ile bir RLU20 lazer ünitesi kullanılarak elde edilmiştir.

Özellikler ve Faydalar

• Olağanüstü Metroloji
  38.6 pm’e kadar çıktı çözünürlüğüne imkan tanıyan ppb frekans durağanlığı ve son derece düşük dairesel hata.
• Diferansiyel Konfigürasyon
  İskelenin kolonlara olan, veya iş parçasının araca olan izafi pozisyonunu ölçer ve haznenin yan duvarlarının çevresel değişkenler ile bağlantılı hareketi gibi ortak hareket hatalarını bertaraf eder.
• Hızlı Hizalama
  Hazne ve ayna montaj toleranslarını ortadan kaldırmak için entegre edilmiş dört adet ışın düzelticiyi (ölçme ve referans ışınları için ±1° periyot aralığı ve yatay sapma) kullanarak proses haznesinin dışından basit bir hizalama.